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12月24日上午,温州首家晶圆厂——浙江星曜半导体有限公司(以下简称“星曜”)的5G射频滤波器芯片晶圆产线项目投产仪式,在温州湾新区、龙湾区举行。该项目总投资7.5亿元,投产后将年产12万片高性能射频滤波器晶圆片,预计2025年2月实现产品交付客户。
星曜是温州首家集成电路企业,晶圆产线项目的投产,意味着企业已逐步形成一条从芯片设计研发、晶圆制造、封装测试到销售的全产业链条,填补温州集成电路产业链制造领域的空白。
芯片由晶圆分割而成,晶圆是芯片生产的载体。星曜于2020年落户温州湾新区、龙湾区,经过4年发展,公司已拥有120多人的顶尖研发团队,研发出100多款高性能滤波器芯片和10多种射频模组芯片,终端客户覆盖国内外众多品牌的通讯设备公司。
为了实现射频滤波器芯片从自主设计到自主生产,去年4月,由星曜投资的温州首家晶圆厂项目继续签约落户温州湾新区、龙湾区。“项目主要用于高性能射频滤波器芯片的生产制造和封装测试等,投产后,将大大增强企业芯片供应能力,同时也能大幅度提升产品开发速度。”启动仪式现场,企业负责人高安明介绍。
当天上午,记者走进项目主厂房参观通道,直观了解芯片制造生产过程。芯片制造对洁净环境要求非常高,记者在现场看到,包括光刻机、蒸镀机、刻蚀机等在内的晶圆加工设备以及各种检测和测试设备有序摆放,整个操作车间一尘不染,工作人员身穿无尘洁净服进行操作。
芯片制造类似乐高盖房子,先用衬底材料作为地基,再层层往上叠加芯片制造流程,重复若干次,产出相应的芯片。“星曜可以在温州生产第一批芯片产品了。”现场,晶圆厂负责人邱金荣难掩内心激动。
晶圆厂占地4万平方米,包括晶圆制造中心、封装测试、生产辅助和废气废液纯水动力处理中心等配套设施。“从2023年10月9日拿到施工许可证,到今年4月18日主体结构封顶,一共用了6个月零12天,再到9月18日首台设备搬入、11月20日产线调通、今天正式投产,最大感受就是快。”邱金荣表示,这既是星曜速度,也是温州湾新区速度。
记者了解到,去年上半年,自项目签约开始,温州湾新区、龙湾区便组建项目专班,针对企业提出的个性化需求,几乎有求必应。
不同于普通工业企业,晶圆厂由于涉及到大量精密操作,对于电压稳定性与可靠性要求极高。“任何微小的电力波动,都可能对产品质量造成严重影响,甚至导致整条生产线停滞。”邱金荣说,一旦设备停机,修复或重启至少需要一周时间。为此,当地联动国网温州供电公司,抽调电力业务骨干多次研究相关方案,为项目量身定制一套双电源接入的方案。今年11月底,beat365入口该项目完成双电源接入,对顺利投产的带动作用明显。
温州首家晶圆厂的快速投产,是重大项目在温州市加速“奔跑”的生动缩影。今年以来,温州全力以赴优化营商环境,为重大项目提供最优质、最便捷、最高效的全生命周期服务,推动项目投资放量、投产达效,为高质量发展注入强劲动能。据统计,1-11月,温州完成制造业投资607.11亿元、同比增长13.2%,增速居全省第1;全市超亿元制造业项目竣工数达99个,较上年同期多9个。